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走査プローブ顕微鏡に関連した技術開発
浜田 雅之(物性研究所)
要旨
発表者は、物性研究所ナノスケール物性研究部門の長谷川研究室で業務を行っている。主な業務としては、原子間力顕微鏡(AFM)や走査トンネル顕微鏡(STM)の維持管理とそれらを用いた新しい測定手法の開発である。当日は、走査プローブ顕微鏡をベースにして行ったナノリソグラフィーや走査トンネルポテンショメトリー(STP) という技術・装置開発について発表する予定である。
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