OB-05 液体ヘリウムにおける水素混入問題への対応

OB-05

液体ヘリウムにおける水素混入問題への対応

山口 映理子(生産技術研究所)

要旨
流体テクノ室は、生産技術研究所の共通施設であり特殊流体(液体ヘリウム・液体窒素・窒素ガス・イオン交換水)の所内インフラを担っている。今回液体ヘリウムにおいて水素混入問題が発生した。今発表では、水素混入が疑われはじめた経緯、実際に行った解決方法(貯槽昇温、個別容器昇温再生)、ガス分析、現状考えられる対策方法(水素除去器の設置、液化機系内の真空引き)などを紹介する。

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